X'Pert 平臺(tái)在馬爾文帕納科 X 射線衍射系統(tǒng)的新型 X'Pert³ 系列中得以延用。X'Pert³ 平臺(tái)具有新型機(jī)載控制電子裝置，符合X 射線和運(yùn)動(dòng)安全規(guī)范，且具有環(huán)保和可靠性能，已準(zhǔn)備好迎接未來(lái)的挑戰(zhàn)。

馬爾文帕納科X射線衍射儀X'Pert³MRD其可靠性的增強(qiáng)及性能的改進(jìn)提高了分析能力，提供一體化解決方案來(lái)滿足不同需求和應(yīng)用：  
•半導(dǎo)體和單晶晶圓：倒易空間探索、搖擺曲線分析  
•多晶固體和薄膜：織構(gòu)分析、反射測(cè)量  
•超薄薄膜、納米材料和非晶層：掠入射物相鑒定、面內(nèi)衍射  
•非常溫條件下的測(cè)量：隨溫度和時(shí)間變化的峰高

馬爾文帕納科X射線衍射儀X'Pert³ MRD 系列新增功能具體包括：

• CRISP*（包括無(wú)鉛光管塔）確保入射光路組件的壽命更長(zhǎng) 
• 面向未來(lái)的單板計(jì)算機(jī)控制器，確保更好的連接性和更出色的遠(yuǎn)程支持

*CRISP 指的是耐腐蝕智能入射光路。CRISP 可防止入射光路中出現(xiàn)由 X 射線引起的電離空氣造成的腐蝕。該技術(shù)使儀器運(yùn)行更可靠，避免額外的維護(hù)工作。